【據歐盟清潔航空網站2022年4月25日報道】高性能慣性MEMS陀螺儀制造工藝項目（MUPIA）開發了基于硅晶圓的微機電系統（MEMS）陀螺儀的制造工藝。與上一代工藝相比，該種新工藝將使生產非常小和輕的慣性測量單元（IMU）成為可能，可顯著降低重量（0.5千克至2千克）和功耗（1W至5W），從而為飛機節省能源。

MUPIA項目優化了制造過程的每個步驟，以達到所需的性能規格，包括開發和優化高分辨率特征的制造工藝、用于測量這些特征的圖像半自主分析以及獲得高性能所需真空質量的封裝解決方案。

針對真空質量挑戰，項目對兩種傳感器的變體進行了試驗——MOD（MUPIA 開放式設計）和 COD（MUPIA 封閉式設計）。對于封裝級真空密封的 MOD，主要的挑戰之一是如何處理MEMS制造后的設備，因為任何留在表面的灰塵或顆粒都會使傳感器失效。這一問題通過涂覆一層保護膜得以成功解決，該保護膜可以通過紫外線輻射和加熱去除，在設備上不留任何殘留物。對于COD，通過在晶圓鍵合下在晶圓級提供真空，能夠允許一個晶圓上的200個單元同時獲得相同的高質量真空。

成本效率也是MUPIA的關注點，項目成功展示了該傳感器元件及其封裝在可持續價值鏈中的成本效益制造工藝。MUPIA還揭示了電力機翼系統領域傳感器的創新，改進的傳感器和執行器預計將使用更廣泛的新技術。創新的機翼系統和更廣泛的狀態監測將降低維護成本并提高安全性，同時有助于降低油耗。

該項目由挪威工業技術研究所（SINTEF AS）和微軟公司（Micross Ltd）聯合實施，總預算133萬歐元，向歐盟申請的經費為124萬歐元。heavy fuel engine